| Товар/услуги | Код КТРУ | Ед. изм. | Кол-во | Цена за ед. | Стоимость |
|---|---|---|---|---|---|
| Поставка многофункционального оборудования для термического нанесения тонких пленок на базе полуавтоматической системы резистивного напыления в рамках программы Правительства Московской области "Развитие инновационного территориального кластера "Кластер ядерно-физических и нанотехнологий в г. Дубне" на 2013-2015 годы". Состав комплекса: 1. Водохлаждаемая вакуумная камера D-типа, электрополированная. 2. Турбомолекулярный насос. 3. Ввод вращения с уплотнением магнитной жидкостью. 4. Резистивные термоиспарители. 5. Датчики давления. 6. Контроллер толщины пленки. | 29.12.31.320 | шт | 1 | 6651152 | 6651152 |