Проведение открытого запроса предложений с правом заключения договора на выполнение составной части научно-исследовательской работы «Изготовление комплекта фотошаблонов и пластин со структурами для макетов МЭМС динамической маски с управлением коэффициентом пропускания рентгеновского излучения по проектным нормам 90 -180 нм», Шифр «Рентген-Литограф НИИМЭ»