| Товар/услуги | Код КТРУ | Ед. изм. | Кол-во | Цена за ед. | Стоимость |
|---|---|---|---|---|---|
| Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов 2.1.21 Дросселирующий вакуумный затвор с изменяющимся сечением откачки (типа «ромашка») в линии между маршевой турбиной и реактором в составе системы откачки реактора наличие 2.1.22 Химически-стойкий сухой форвакуумный насос в составе системы откачки реактора наличие 2.1.23 Скорость откачки химически-стойкого сухого форвакуумного насоса в составе системы откачки реактора ≥ 80 м[3*]/ч | Штука | 1 | 42500000 | 42500000 |