| Товар/услуги | Код КТРУ | Ед. изм. | Кол-во | Цена за ед. | Стоимость |
|---|---|---|---|---|---|
| Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов Модуль обработки плавиковой кислотой: Количество механизированных рук «тип 6», Скорость потока реактивов, см3 / мин > 100 и ≤ 1200 Модуль механической отмывки пластин: Количество механизированных рук «Тип 2», функция обработки ультразвуком со следующими параметрами_2 ≥ 950 кГц Система перемещения пластин^ Робот должен быть со следующими характеристиками 5-осевой робот с двойным пальцем и функцией переворота | Штука | 1 | 107622333.33 | 107622333.33 | |
| Оборудование для формирования тонкопленочных структур полупроводниковых приборов | Условная единица | 1 | 5664333.33 | 5664333.33 |