Товар/услуги | Код КТРУ | Ед. изм. | Кол-во | Цена за ед. | Стоимость |
---|---|---|---|---|---|
Оборудование химико-литографическое для обработки полупроводниковых пластин и формирования топологического рисунка Минимальная скорость травления PR, PMMA, PDMS 30 нм/мин Максимальная скорость травления PR, PMMA, PDMS 1000 нм/мин Отклонение травления, на 100 мм 5 % | Штука | 1 | 30000000 | 30000000 |