248 - Выполнение СЧ ПНИЭР по теме «Разработка алгоритма и программы моделирования электронной системы источника мягкого рентгеновского излучения, состоящей из одиночного катодного узла и анодного электрода, для формирования пикселя в безмасочном литографе. Проведение моделирования и оптимизация электрических и геометрических параметров электронной системы источника мягкого рентгеновского излучения. Расчёт тепловой нагрузки на катодный узел при заданных характеристиках рентгеновского излучения. Разработка технологического маршрута изготовления тестовых образцов подложек для свободновисящих пленок бериллия. Отработка технологического маршрута изготовления тестовых образцов подложек для свободновисящих пленок бериллия»