Выполнение составной части научно-исследовательских работ (СЧ НИР) по теме: «Разработка и изготовление экспериментального стенда для исследования макета МЭМС динамической маски в варианте конструкции с управлением коэффициентом пропускания рентгеновского излучения. Разработка облика составных частей установки безмасочной рентгеновской нанолитографии»