Выполнение СЧ НИР по теме: «Разработка базовых технологических процессов изготовления элементов МЭМС динамической маски с управлением коэффициентом пропускания рентгеновского излучения» - тендер 57735041133220000380000 на сайте Закупки 360

Опубликована	Закупка	Начальная цена
29.04.2022	Выполнениесоставной части научно-исследовательских работ (СЧ НИР) по теме: "Разработка и экспериментальные исследования образцов резистов, чувствительных к рентгеновскому излучению"	9 500 000 ₽
19.04.2022	Выполнение составной части научно-исследовательских работ (СЧ НИР) по теме: «Разработка технологии и изготовление пластин со структурами для макетов МЭМС динамической маски с управлением коэффициентом пропускания рентгеновского излучения по проектным нормам 90 -180 нм».	85 000 000 ₽
30.03.2022	Выполнение составной части научно-исследовательских работ (СЧ НИР) по теме: «Разработка и изготовление экспериментального стенда для исследования макета МЭМС динамической маски в варианте конструкции с управлением коэффициентом пропускания рентгеновского излучения. Разработка облика составных частей установки безмасочной рентгеновской нанолитографии»	70 000 000 ₽
17.02.2022	Поставка узлов и блоков для проведения исследований макета МЭМС динамической маски в варианте конструкции с управлением коэффициентом пропускания рентгеновского излучения	45 000 000 ₽
15.11.2016	189 - Выполнение составной части прикладных научных исследований и экспериментальных разработок (СЧ ПНИЭР) по теме: «Разработка модели для расчета пространственного распределения рентгеновского излучения»	612 000 ₽