Выполнение составной части научно-исследовательских работ (СЧ НИР) по теме: «Разработка технологии и изготовление пластин со структурами для макетов МЭМС динамической маски с управлением коэффициентом пропускания рентгеновского излучения по проектным нормам 90 -180 нм».