Проведение открытого запроса предложений с правом заключения договора на выполнение составной части научно-исследовательской работы«Теоретические и экспериментальные исследования процессов получения фоторезистов и антиотражающих покрытий для использования в процессе фотолитографии с длинной волны актиничного лазерного излучения 248 нм (KrF)», шифр «Фотолиз-Н»